SOR・X線リソグラフィにおける大面積均一露光のための新光源開発
SOR・X線リソグラフィにおける大面積均一露光のための新光源開発
开发 SOR/X 射线光刻中大面积均匀曝光的新光源
批准号：
58460068
负责人：
神前 煕
金额：
$3.26万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
财政年份：
1983
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1983 至 1984
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薄膜および微粒子単結晶の電子状態についての分光学的研究
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批准号：X00090----754029
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$0.61万
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财政年份：1972
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负责人：神前 煕
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依托单位：
光励起状態の赤外分光学的研究
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批准号：X45090----484019
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$0.38万
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财政年份：1970
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负责人：神前 煕
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依托单位：
光励起状態の赤外分光
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批准号：X44090-----84019
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$0.32万
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财政年份：1969
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负责人：神前 煕
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依托单位：