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サブミクロン加工用電子線レジストに関する研究

サブミクロン加工用電子線レジストに関する研究
亚微米加工电子束抗蚀剂研究
批准号：
X00080----446098
负责人：
柴山 乾夫
金额：
$5.31万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
财政年份：
1979
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1979 至 1980
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-X00080----446098/
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超音波トランスジューサの振動特性測定法に関する研究
  • 批准号：
    60212018
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Special Project Research
  • 资助金额：
    $2.11万
  • 财政年份：
    1985
  • 负责人：
    柴山 乾夫
  • 依托单位：
    Tamagawa University
超音波トランスジューサの振動特性測定法に関する研究
  • 批准号：
    59220022
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Special Project Research
  • 资助金额：
    $1.92万
  • 财政年份：
    1984
  • 负责人：
    柴山 乾夫
  • 依托单位：
    Tamagawa University
高安定プログラマブル弾性表面波デバイス
  • 批准号：
    58460131
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $3.01万
  • 财政年份：
    1983
  • 负责人：
    柴山 乾夫
  • 依托单位：
    Tamagawa University
弾性表面波の通信工学的応用に関する研究
  • 批准号：
    X00050----135019
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Co-operative Research (A)
  • 资助金额：
    $2.94万
  • 财政年份：
    1976
  • 负责人：
    柴山 乾夫
  • 依托单位：
    Tohoku University