気相合成ダイヤモンドの熱化学反応による研磨に関する研究

热化学反应气相人造金刚石抛光研究

• 批准号: 06650132
• 负责人: 奥住 文徳
• 金额: $ 1.47万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06650132/
• 关键词: 気相合成; ダイヤモンド; 熱化学反応; 研磨

気相から合成された膜状あるいは板状ダイヤモンドの表面は凹凸が激しく,耐摩耗工具や光学及び電子材料等に供するためには表面の研磨加工が必須である.しかし従来の機械的研磨法では,とくに工具の刃先研磨の場合,研磨時の摩擦抵抗によりダイヤモンド粒が欠けたりチッピングを生じてしまい研磨が困難である.そこで,軽付加で効率良く研磨加工のできる熱化学反応を利用する方法に着目し,曲面を持ったバイトの刃先研磨のできる熱化学研磨装置を試作した.本装置は,グローブボックス,被加工物,取付台,ならびにヒーター部から構成されており,水素を含む雰囲気中で,切削バイトを加熱された低炭素のアームコ鉄の円板にスプリングを介して低荷重下で接触させながら,バイトを刃先を回転させることによって所定のノ-ズ半径に従って刃先を研磨することができ,また被加工物取付台は鉄板に対して左右,垂直方向に動かすことができ,さらに所定の逃げ角をもった逃げ面の刃先研磨ができるように傾斜させることができる.本装置によって刃先研磨された気相合成ダイヤモンド切削バイトは,ダイヤモンド粒の欠けやチッピングのない滑らかでシャープな刃先であった.この気相合成ダイヤモンド切削バイトで,純アルミニウムおよびアルミノウム合金の切削試験を行った.まず,純アルミニウムの切削試験では,被削材をむしることなく切削が進行し,滑らかな刃先がそのまま転写されて鏡面に仕上げることができた.またAl-Mg合金の切削試験では,100min切削後で被削材の表面粗さは,Rmax0.81μmと天然ダイヤモンド切削バイトのRmax0.73μmに匹敵する値を示し,本研磨法が精密切削加工用気相合成ダイヤモンドチップの有効な刃先研磨法であることがわかった.

Phase synthesis, film-like, plate-like, thin-film, thin, thin, hot, hot, hot In this paper, the grinding method of the machine is introduced, and the cutting edge of the machine tool is ground first. During the grinding, the friction resistance is not enough to prevent the wear and tear of the machine. In order to improve the rate of grinding, the chemical reaction is used to look at the surface by using the method, and the surface is ground first. In this device, the processed product is processed, the payment desk is used, the part of the device is made of metal, the water content is in the middle of the device, and the cutting device is filled with low carbon, low carbon and low carbon. The edge of the workpiece should be lapped first, and the workpiece should be picked up to the left and right of the workpiece. In the vertical direction, the edge of the surface of the workpiece should be ground first. In this device, the cutting edge is lapped, the phase is synthesized, the cutting edge is cut, and the grain size is not enough. Phase synthesis, cutting, cutting. In the process of cutting, the cutting machine is in operation, and the cutting edge is in progress. The slippery edge is used to write the surface. After 100min cutting, the rough surface of the cut material, Rmax0.81 μ m, natural grain, Rmax0.73 μ m, Rmax0.73 μ

项目成果

F.Okuzumi,H.Tokura,M.Yoshikawa: "Cutting performance of CVD Diamond Polished by Thermochemical Polishing Method" Advances in New Diamond Science and Technology. 783-786 (1994)

F.Okuzumi、H.Tokura、M.Yoshikawa：“热化学抛光法抛光 CVD 金刚石的切削性能”新金刚石科学技术进展。

奥住文徳,吉川昌範: "刃付加工したCVDダイヤモンド膜の切削性能" 第8回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集. 16-17 (1994)

Fuminori Okuzumi、Masanori Yoshikawa：“用刀片加工的CVD金刚石薄膜的切削性能”第8届金刚石研讨会摘要16-17（1994）。