高速ZnO薄膜直流活性化スパタリング装置
高速ZnO薄膜直流活性化スパタリング装置
高速ZnO薄膜直流活化溅射设备
批准号：
X00095----265004
负责人：
波田 敏雄
金额：
$0.24万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (D)
财政年份：
1977
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1977 至 --
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会议论文
光・熱回析分光法による半導体の評価
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批准号：59550212
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$0.96万
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财政年份：1984
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负责人：波田 敏雄
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依托单位：
トランスジューサ法による光音響分光測定
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批准号：58550212
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$0.64万
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财政年份：1983
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负责人：波田 敏雄
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依托单位：