Development of hybrid system of double-sided- and tandem- interferometer for precise measurement of refractive index and its temperature dependence of silicon
开发双面和串联干涉仪混合系统,用于精确测量硅的折射率及其温度依赖性
基本信息
- 批准号:21K20421
- 负责人:
- 金额:$ 2万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
- 财政年份:2021
- 资助国家:日本
- 起止时间:2021-08-30 至 2023-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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