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単結晶の巨大圧電性と多結晶の強靭性を併せ持つ革新的圧電トランスデューサ薄膜の創出

単結晶の巨大圧電性と多結晶の強靭性を併せ持つ革新的圧電トランスデューサ薄膜の創出
创建一种创新的压电换能器薄膜，结合了单晶的巨压电性和多晶的韧性
批准号：
22H01925
负责人：
吉田 慎哉
金额：
$10.73万
依托单位：
Shibaura Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2022
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2022-04-01 至 2025-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-22H01925/
关键词：
圧電MEMSアクチュエータリラクサ系単結晶薄膜エピタキシャル成長スパッタ膜圧電MEMS圧電材料単結晶薄膜破壊靭性微小電気機械システム

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単結晶の巨大圧電性と多結晶の強靭性を併せ持つ革新的圧電トランスデューサ薄膜の創出
  • 批准号：
    23K23193
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $2.83万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    吉田 慎哉
  • 依托单位：
    Shibaura Institute of Technology