周期構造を有する相分離型合金系人工物質の組織変化

具有周期性结构的相分离合金基人造材料的组织变化

• 批准号: 09242219
• 负责人: 土井 稔
• 金额: $ 1.66万
• 依托单位: Nagoya Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1997
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1997 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-09242219/
• 关键词: 相分離; 周期構造; 二層膜; 微細組織; 結晶化; 非平衡相; 組織自由エネルギー

1.相分離型状態図をもつ金属(AgまたはAl)/非晶質半導体(GeまたはSi)系2層膜を,状態図の2相領域内でアニールした際の組織変化について,走査型電子顕微鏡法(SEM),オージェ電子分光法(AES),透過型電子顕微鏡法(TEM)などにより調べ結果,次の事柄が明らかとなった.(1)表面側の金属層と基板側の半導体層の逆転が起きるが,2層構造自体はかなり安定である.(2)表面に現れたSiあるいGeは,特異な形態(パターン)を示す結晶性クラスターを形成する.(3)同じ系の2層膜でも,金属層と半導体層の相違的な厚さの違い,金属層の結晶粒サイズの違い,作製法の違い(真空蒸着かスパッターか)などにより,パターンは微妙に異なってくる.2.スピノ-ダル分解により微細な変調構造の形成が見られるFe/Mo合金の2層膜を作製し,スピノ-ダル領域内でアニールした際の組織変化について,SEM,AES,TEM,X線回折などにより調べた結果,次の事柄が明らかとなった.(1)特異なパターンを示すクラスターが形成される.2)このクラスターは,Fe-Mo2元平衡状態図には存在しないL1_0構造を有するFeMo相と推定される.(3)さらにアニールを続けると,非平衡FeMo相の形成と成長は停止し,Fe-Mo状態図に存在する平衡(安定)相μの形成が始まる.3.Fe-Mo系2層膜の組織変化について組織自由エネルギー理論に基づく理論的検討を行った結果,非平衡FeMo相および平衡μ相の形成は,自由エネルギー的に十分起き得る現象であることが分かった.

1. Phase separated amorphous Al

项目成果

M.Doi, Y.Suzuki, T.Koyama and F.Katsuki: "Pattern Formation of crystalline Ge aggregates during annealing of Al/Ge bilayer film deposited on SiO_2 substrate" Philosophical Magazine Letters. (1998)

M.Doi、Y.Suzuki、T.Koyama 和 F.Katsuki：“沉积在 SiO_2 基底上的 Al/Ge 双层膜退火期间晶态 Ge 聚集体的图案形成”哲学杂志快报。

M.Doi, K.Kato, Y.Yamada, H.Inaba and Y.Ueda: "Microstructure changes in bilayer films of phase-separation type alloy systems" Proc.3rd Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing. (1998)

M.Doi、K.Kato、Y.Yamada、H.Inaba 和 Y.Ueda：“相分离型合金系统双层薄膜的微观结构变化”Proc.3rd 环太平洋先进材料与加工国际会议。

Y.Ueda, M.Minamitani, Y.Yamada and M.Doi: "Experimental studies on the microstructure changes in layered Cu_3Ge/a-Ge films" Proc.4th Special Symposium on Advanced Materials. (1998)

Y.Ueda、M.Minamitani、Y.Yamada 和 M.Doi：“层状 Cu_3Ge/a-Ge 薄膜微观结构变化的实验研究”Proc.第四届先进材料特别研讨会。