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磁気フィルタ-付バケット型プラズマ源を用いた反応性プラズマの制御

使用带磁性过滤器的桶型等离子体源控制反应等离子体

基本信息

批准号：
01632516
负责人：
福政修
金额：
$ 1.6万
依托单位：
Yamaguchi University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1989
资助国家：
日本
起止时间：
1989 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

バケット型プラズマ源に可動型の磁気フィルタ-を付加した放電容器を用い、本研究では磁気フィルタ-並びに新たに考案したプラズマグリッドによる電子エネルギ-分布を中心とするプラズマパラメ-タの空間的制御について検討した。以下に本年度に得られた結果を要約する。1.磁気フィルタ-によりプラズマは二分され、上流側でフィラメントのあるプラズマ生成域は高速一次電子を大量に含んだ高密度で高電子温度のプラズマ状態となり、各イオン種・ラジカル種の生成に適している。一方、下流側の拡散プラズマ域は高速電子が完全に除去された低電子温度のプラズマとなり成膜に適したプラズマ状態となっている。2.拡散プラズマ域に新たにプラズマグリッドを設けたが、グリッド電位の変化で成膜域のプラズマパラメ-タが容易に制御できる。3.プラズマパラメ-タが大きく異なるプラズマ生成域と成膜域とは磁気フィルタ-を移動することで、その空間的分布を自由に変えられる。また、水素とアルゴンについて実験を行ったが、電子エネルギ-分布関数を始めとするプラズマの制御に関しては同様の結果が得られた。4.実験結果によれば、磁気フィルタ-は高速電子のみを選択的に反射させている。この現象を静電近似による2次元の粒子シミュレ-ションを用いて検討し、実験と定性的に一致する結果を得た。例えば、電子の拡散係数は粒子速度の増加と共に減少する。即ち、低エネルギ-電子と比較して高エネルギ-電子の方がより磁気フィルタ-によって閉じ込められる。これは、揺動電場によるE×Bドリフトが、有限ラ-マ効果のために、低速電子に対してより大きくなるためである。今後はメタンガスを用いた実験にて(1)磁気フィルタ-による反応の空間選択性、(2)反応に及ぼす質イオンの影響、シミュレ-ションにて(3)磁気フィルタ-の役割、(4)シ-ス形成への質イオンの影響、を検討する。

In this study, the magnetic field of the movable type of magnetic field is studied, and the magnetic field of the magnetic field is studied. The following are the results of the year. 1. The magnetic field is divided into two parts, the upstream side is divided into three parts, the upstream side is divided into two parts, the upstream side is divided into three parts, the upstream side is divided into two parts, the upstream side is divided into three parts, the upstream side is divided into two parts, the upstream side is divided into three parts, the upstream side is divided into three One side, the downstream side of the diffusion domain is completely removed from the low electron temperature. 2. It is easy to control the change of film forming potential. 3. Free distribution of magnetic field and film forming field The results of the experiment were as follows: 4. The result of the experiment is that the magnetic field is reflected in the high-speed electron field. This phenomenon is approximated by two-dimensional particles, and the results are consistent with those obtained by the analysis and qualitative analysis. For example, the dispersion coefficient of electrons decreases with the increase of particle velocity. That is, low energy-electron ratio high energy-electron ratio high energy ratio high energy-electron ratio high energy-electron For example, the electric field of the electric field is small, and the electric field of the electric field of the electric field is small. In the future, we will discuss (1) the spatial selectivity of the reaction in the magnetic field,(2) the influence of the reaction and the quality of the reaction,(3) the separation of the magnetic field, and (4) the influence of the quality of the formation of the reaction.