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鉄系人工格子膜の軟磁気特性

铁基超晶格薄膜的软磁性能

基本信息

批准号：
03240205
负责人：
深道和明
金额：
$ 0.96万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1991
资助国家：
日本
起止时间：
1991 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

Fe系合金において微細析出させることにより優れた軟磁気特性が得られる。本研究においては、スパッタ法によりFeZrNアモルファス合金を作製し、熱処理することによりαーFe,ZrNを析出させることにより、数百度まで安定な軟磁気特性を得ることができた。また,この薄膜は人工的に積層することにより特性の改善が見られた。具体的には,非磁性のAlNを20A^^○としてFeZrNを500A^^○,750A^^○,1000A^^○と異なる厚さで20,27,40層の人工格子積層膜を作製すると,asーmade状態でも単層膜と比較すると数分の1程度の保磁力した示さない。しかも400℃で焼鈍すると保磁力は0.2Oe以下となり,より優れた軟磁気特性を示すようになることが明らかになった。保磁力の熱処理温度依存性やFeZrN/AlN二層膜の磁区観察より、中間層の厚さは5A^^○までに薄くしても磁性層間の交換相互作用を分断する効果があることが確認された。一方、ブリルアン散乱の実験より,中間層が20A^^○以下の膜では、それ以上の膜と比べて磁気的な構造の違いがあることが確められた。磁気異方性は積層膜においてはasーmade状態でも存在し,積層周期や厚さに対して敏感に変化するが,熱処理温度に対する依存性はありま見られない。磁気異方性の値は1000J/m^3〜2000J/m^3程度であり,応用上の観点からはこの値の軽減が要求される。以上より,人工積層膜にすることにより保磁力の低下,熱的安定性の向上などは改善された。しかし,磁気異方性の軽減など残された問題もある。

Fe-based alloys have excellent soft magnetic properties due to fine precipitation. In this study, the FeZrN alloy was prepared by heat treatment, and the FeZrN alloy was precipitated by heat treatment. This film is artificially laminated and its properties are improved. Specifically, nonmagnetic AlN 20A, FeZrN 500A, FeZrN 750A, FeZrN 20A, FeZrN, FeZrN 20A, FeZr For example, if the temperature is below 400℃, the magnetic field will be below 0.2Oe, and the soft magnetic properties will be excellent. The temperature dependence of the magnetic field on the heat treatment of FeZrN/AlN bilayers is confirmed by the observation of the magnetic field, the thickness of the interlayer, and the separation of the exchange interaction between the magnetic layers. The film below 20A is more than 20A, and the film above 20A is more than 20A. The structure of the film is more than 20A. Magnetic anisotropy exists in the as-made state of laminated films, the lamination period and thickness vary sensitively, and the dependence on heat treatment temperature is evident. The magnetic anisotropy value is 1000J/m^3 ~ 2000J/m^3. The above mentioned artificial laminated films are used to improve the thermal stability and keep the magnetic state low. The problem of magnetic anisotropy is solved.