電子ビーム励起希ガスエキシマレーザーによる有機光学素子の精密加工

利用电子束激发稀有气体准分子激光器精密加工有机光学元件

• 批准号: 07246234
• 负责人: 佐々木 亘
• 金额: $ 1.02万
• 依托单位: University of Miyazaki
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1995
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1995 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-07246234/
• 关键词: 真空紫外光加工; ナノメートル加工; 有機光学素子; 希ガスエキシマランプ

従来の光学素子の精密加工法の欠点である、感と経験による加工法および加工速度の遅さを解決する方法として、真空紫外レーザーによる有機光学素子の精密加工法を着想した。本年度の基礎研究において、1.可制御加工被加工面の表面精度と研磨量をその場観測を行いながら、加工箇所および加工量を制御しながら加工できる方法を考案し実証した。このことは、コンピュータ制御による自動加工を可能にする。2.非熱的光加工真空紫外光による光加工が赤外光や可視光による加工のように熱的加工ではなく、光と物質の直接の相互作用による純粋に光のみによる加工であることを明らかにした。したがって、光を照射した部分が全く熱的作用を受けることなく加工されることも明らかになった。3.ナノメータ加工加工速度は、照射光強度に比例するが、我々が開発した希ガスエキシマランプの照射において、数nm/分程度で、光の波長の数百分の1程度の極めて精密な加工が制御可能なことも明らかになった。真空紫外光による非熱的加工の機構は学問的にも非常に興味深い。すなわち、真空紫外光の光子エネルギーによって材料の構成原子の結合が切断されることは容易に理解できるが、切断された原子が材料から離脱する機構については明らかでない。このことは、新しい光と物質の相互作用として非常に興味深い。さらに、本年度の研究では、アクリルとポリイミドに加工が可能なことを明らかにしたが、さらに多くの有機材料への可能性を調べることが重要である。

In recent years, the optical element precision processing method has a lot of advantages, such as the optical element precision processing method, the processing speed method, the vacuum ultraviolet precision processing method, the vacuum ultraviolet precision processing method, the vacuum ultraviolet precision processing method and the vacuum ultraviolet precision processing method. In this year's basic research, 1. It is possible to control the accuracy of the machined surface, the amount of grinding, the amount of processing, and the method of processing. It may be difficult to control the automatic processing of the machine. two。 Non-optical processing vacuum ultraviolet light, optical processing, infrared light, optical processing, optical processing, optical processing. The effect of exposure to light and light on the whole part is affected by the effect of processing. 3. The processing speed is very high, the intensity of the irradiated light is proportional, the intensity of the irradiated light is different, the number of nm/ is different, and the wavelength of the light is hundreds of centimeters. The precision processing system is very important to the precision processing system. The vacuum ultraviolet light processing machine has a very deep taste. Vacuum ultraviolet photons, vacuum ultraviolet photons, photons, materials, materials and materials. The interaction between the light and the new light is very deep. This year's research program, and this year's research program, this

项目成果

佐々木 亘: "新しいエキシマ光源とその将来" レーザー研究. 23. 1056-1067. (1995)

Wataru Sasaki：“新准分子光源及其未来”激光研究。23。1056-1067（1995）。

大楠 勝正: "Si3N4 セラッミクスのレーザーアブレーションに関する研究" 宮崎大学工学部研究報告. 41. 123-128 (1995)

Katsumasa Ohkusu：“Si3N4 陶瓷的激光烧蚀研究”宫崎大学工学部研究报告 41. 123-128 (1995)。

Masahito Katto: "Electron beam pumped argon-excimer laser using an unstable resonator" IEEE J.Select.Topics Quantum Electron.1. 924-930. (1995)

Masahito Katto：“使用不稳定谐振器的电子束泵浦氩准分子激光器”IEEE J.Select.Topics Quantum Electron.1。

Kou Kurosawa: "Fabrication,characteristics,and preformance of diamond mirros for vacuum ultraviolet excimer lasers" Opt,Engineering. 34. 1405-1409 (1995)

Kou Kurosawa：“真空紫外准分子激光器金刚石镜的制造、特性和性能”Opt，工程。

Ken-ichi Mitsuhashi: "Xenon excimers produced from xenon clusters in a quasi-continuouswave jet discharge" Opt.Lett.20. 2423-2425. (1995)

Ken-ichi Mitsuhashi：“在准连续波喷射放电中由氙簇产生的氙准分子”Opt.Lett.20。