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有機分子超構造の転写による強誘電性ペロブスカイト型酸化物のパタ-ニング

通过转移有机分子超结构来图案化铁电钙钛矿型氧化物

基本信息

批准号：
08231239
负责人：
八尾健
金额：
$ 1.09万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1996
资助国家：
日本
起止时间：
1996 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

近年、高い誘電率を持つ無機酸化物結晶薄膜を用いた揮発性メモリや強誘電体メモリの研究が活発に進められている。我々は最近、高誘電率無機酸化物結晶を水溶液から合成することに成功し、この手法を応用して、水溶液中で誘電体結晶薄膜を分子操作を用いてパタ-ニングすることにより、高度に集積した誘電体メモリの作製が可能になると考えるに至った。本研究では、水溶液からの酸化物結晶生成機構の解析を行い、続いて、結晶の核形成並びに核成長に対する種々の有機分子の影響をその分子構造に対して系統的に調べ、薄膜形成の条件を明らかにする。特に、高い誘電率を有するSrTiO_3の水溶液からの合成並びにZrTiO_4の水溶液からの合成とその基板選択性についての研究を行った。固相反応によりSrTiO_3、ZrTiO_4を作製し、これを細かく粉砕したものを原料として用いた。原料粉末をフッ化水素酸溶液に加え、所定温度で溶解した。この溶液にフッ化物イオンと安定な錯体を形成するホウ酸を加えた後、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンスルフォン(PES)、ポリメチルメタアクリレート(PMMA)及びポリテトラフルオロエチレン(PTFE)基板を浸漬し、6日間保持した。保持後に基板を取り出し、蒸留水洗浄、室温で乾燥後、基板表面をXRD、SEM、EPMAで分析した。XRD測定より、PET、PES及びPMMAの各基板表面には、ZrTiO_4の生成が確認されたのに対し、PTFE基板には、ZrTiO_4の生成が認められなかった。PTFEは疎水性が大きく結晶核生成が阻害されると考えられる。結晶生成に対する基板選択性が明確に示された。本研究により、表面状態の異なる有機分子の超構造を転写した無機誘電体結晶薄膜作成の指針が得られた。

In recent years, the high power consumption rate has been used to study the mechanical properties of inorganic acidified thin films. Recently, we have successfully synthesized high-rate inorganic acid compounds in aqueous solutions, used thermal devices in aqueous solutions, and molecular operators of crystalline thin films of thin films in aqueous solutions. it is possible to fail to achieve success in the molecular operation of thin films of thin films in aqueous solutions. In this study, the crystal formation mechanism of acid compounds in aqueous solution is used to analyze the formation of nuclei and the growth of organic molecules. The conditions for the formation of thin films are very important. With special and high thermal conductivity, it is possible to use SrTiO_3 aqueous solution to synthesize and ZrTiO_4 aqueous solution to synthesize stable substrates. Solid phase reaction of SrTiO _ 3, ZrTiO_4, powder, powder, raw material, raw material, powder, raw material, raw material, powder, raw material, raw material. The raw material powder is added to the aqueous acid solution and the temperature is dissolved at the specified temperature. After the formation of the wrong system of chemical stability in the solution, the temperature was increased, and the temperature was increased. After the treatment, the temperature monitoring equipment (PET), the temperature monitoring equipment (PES), the temperature monitoring equipment (PMMA) and the temperature monitoring equipment (PTFE) substrate were immersed, and the temperature was maintained for 6 days. After keeping the substrate, remove it, wash it with distilled water, dry at room temperature, and analyze the surface of the substrate by XRD, SEM and EPMA. XRD tests the surfaces of the substrates, such as PET, PES, and PMMA, and ZrTiO_4 generates confirmation, PTFE substrates, and ZrTiO_4 substrates. The formation of nucleation in PTFE water-borne system is very important for the prevention of damage. The results show that the selection of the substrate is clear. In this study, the crystal thin films of organic molecules and organic molecules were used to fabricate the crystal films of organic molecules.