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微小機械技術に基づく光プローブ法の開発と物理的極限加工技術への応用

基于微机械技术的光学探针方法开发及其在物理极限加工技术中的应用

基本信息

批准号：
12131207
负责人：
菅原康弘
金额：
$ 13.18万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2000
资助国家：
日本
起止时间：
2000 至 2003
项目状态：
已结题

项目摘要

本年度は、主に、新たに開発に成功した装置の空間分解能を、さらに一桁向上させ、原子分解能観察を実現することをめざした。また、原子レベルでの物理的極限加工の評価と機構の解明を行った。具体的な研究課題は下記のようになっている。(1)原子レベルで平坦な自己組織化分子膜の作製物質表面の構造、局在する近接場光の強度分布を原子・分子スケールで観察できることを実証するため、標準試料として原子的に平坦な金(Au)表面上に吸着したアルカンチオールの自己組織化分子を取り上げ、その作製方法を確立した。(2)高分解能な近接場光測定の実現上記(1)で作製した標準試料を用いて、物質表面の構造、局在する近接場光の強度分布を原子・分子スケールで観察することをめざした。6Åいう世界最高の水平空間分解能を実現した。将来的には、物質表面の原子・分子レベルの構造と光学的性質を完全分離して同時測定することができるようになると期待される。(3)物理的極限加工の評価と機構の解明、新規加工法の探索ナノメートル領域での物理的極限加工の評価と機構の解明、新規加工法の探索を行った。具体的には、非接触原子間力顕微鏡を用いて、原子種を同定しながら力学的に原子を操作できるかどうかを検討した。その結果、非接触原子間力顕微鏡を用いて、力学的に表面の原子を引き抜いたり、付与させたりすることが可能であることが分かった。しかし、現在のところ、様々な測定パラメーター依存性を系統的に調べていないため、原子操作の機構は不明である。今後の研究に期待したい。

This year, the main and new development of space decomposition energy, a new generation of atomic decomposition energy, has been carried out. Evaluation of physical limit processing of atomic particles and mechanism analysis Specific research topics are recorded below. (1)The structure and structure of the surface of the atomic flat self-organized molecular film are observed by the intensity distribution of the near-field light of the atomic molecule, and the preparation method of the atomic flat self-organized molecular film is established. (2)The implementation of high resolution energy near-field light measurement is described in (1). The preparation and application of standard samples, the structure of material surfaces, the intensity distribution of near-field light, the atomic and molecular structure, and the detection of near-field light are described in detail. 6. The world's highest horizontal spatial resolution can be achieved. In the future, the atomic and molecular structure of the surface of matter will be completely separated and simultaneously determined. (3)Evaluation of physical limit machining, exploration of mechanism and new machining method Specific non-contact atomic force micromirrors are used, atomic species are determined, and mechanical atomic operations are discussed. The result is that non-contact atomic forces are used in micromirrors, and the surface atoms of mechanics are used in micromirrors. The system of atomic operation is unknown. Looking forward to future research.