Entwicklung funkenerosiver Verfahren zur Strukturierung von Mikrosystemen

用于构建微系统的火花腐蚀工艺的开发

• 批准号: 5085474
• 负责人: Professor Dr. Wolfgang Ehrfeld
• 金额: --
• 依托单位: Fraunhofer-Institut für Mikrotechnik und Mikrosysteme IMM
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 1997
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1996-12-31 至 2000-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5085474?language=en
• 关键词: Entwicklung; funkenerosiver; Verfahren; zur; Strukturierung

Die Technologie des Senkerodierens soll aufgrund ihrer verfahrensspezifischen Vorteile als Fertigungsmethode für die Bearbeitung von Mikrokomponenten und -systemen erschlossen werden. Wie bereits zahlreiche internationale Applikationen demonstrieren, besteht für die Mikrosenkerosion ein erheblicher Markt. Jedoch werden weltweit nur relativ einfache Mikrostrukturen mit für die Feinwerktechnik typischer Präzision hergestellt. Ein Hauptgrund ist, daß Prozeßabläufe und Technologien bislang überwiegend auf empirischen und mühsam gewonnenen Erfahrungswerten basieren. Der Ansatz des Forschungsvorhabens ist deshalb, mit Hilfe einer ausführlichen theoretischen Analyse des Abtragsprozesses durch Modellierung, Simulation und systematische Technologieuntersuchungen den Mikrofunkenerosionsprozeß ganzheitlich zu analysieren und zu optimieren. In diesem Zusammenhang wird auch der Bereitstellung einer vollständigen Prozeßumgebung ein hohes Maß an Bedeutung zugemessen. Dies führt insbesondere direkt zu einer optimierten Elektrodenauslegung und angepaßten Impulsparametern für die hochpräzise Mikrobearbeitung, die abschließend detailliert in Technologietabellen festgehalten werden.

Die Technologie des Senkerodierens soll aufgrund ihrer verfazifischen Vorteile als Fertigungsmethode für die Bearbeitung von Mikrokomponenten und -systemen erschlossen韦尔登.这是一个非常有意义的国际示威活动，最好是为了一个更大的市场。Jedoch韦尔登世界只相对于一个Mikrostrukturen mit für die Feinwerktechnik typischer Präzision hergestellt。一个主要的基础设施是，现代化的生产设施和技术可以在经验和基础上得到充分的发展。本文介绍了一种通过对微生物的微生物降解过程进行建模、仿真和系统化技术分析的方法，对微生物的降解过程进行了分析和优化。在这一阶段，我们也将有一个非常有意义的项目。Dies führt insbesondere direkt zu einer optierten Elektrodenauslegung und angepaßten Imperial parametern für die hochpräzise Mikrobearbeitung，die abschließend detailliert in Technologietabellen festgehalten韦尔登.