Entwicklung funkenerosiver Verfahren zur Strukturierung von Mikrosystemen

点击翻译按钮获取中文摘要

Die Technologie des Senkerodierens soll aufgrund ihrer verfahrensspezifischen Vorteile als Fertigungsmethode für die Bearbeitung von Mikrokomponenten und -systemen erschlossen werden. Wie bereits zahlreiche internationale Applikationen demonstrieren, besteht für die Mikrosenkerosion ein erheblicher Markt. Jedoch werden weltweit nur relativ einfache Mikrostrukturen mit für die Feinwerktechnik typischer Präzision hergestellt. Ein Hauptgrund ist, daß Prozeßabläufe und Technologien bislang überwiegend auf empirischen und mühsam gewonnenen Erfahrungswerten basieren. Der Ansatz des Forschungsvorhabens ist deshalb, mit Hilfe einer ausführlichen theoretischen Analyse des Abtragsprozesses durch Modellierung, Simulation und systematische Technologieuntersuchungen den Mikrofunkenerosionsprozeß ganzheitlich zu analysieren und zu optimieren. In diesem Zusammenhang wird auch der Bereitstellung einer vollständigen Prozeßumgebung ein hohes Maß an Bedeutung zugemessen. Dies führt insbesondere direkt zu einer optimierten Elektrodenauslegung und angepaßten Impulsparametern für die hochpräzise Mikrobearbeitung, die abschließend detailliert in Technologietabellen festgehalten werden.