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Automatisierte Justage mit aerostatisch gelagertem Impulsantrieb für die Feinwerk- und Mikrotechnik

Automatisierte Justage mit aerostatisch gelagertem Impulsantrieb für die Feinwerk- und Mikrotechnik
通过空气静压安装的脉冲驱动器进行自动调节，用于精密工程和微技术
批准号：
5090226
负责人：
Professor Dr.-Ing. Wolfgang Schinköthe
金额：
$0.0万
依托单位：
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik (IOF)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
1997
资助国家：
德国
项目状态：
已结题
起止时间：
1996-12-31 至 2001-12-31
来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5090226?language=en
关键词：
AutomatisierteJustagemitaerostatischgelagertem

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