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電子スピン共鳴法によるシリコン系半導体表面層での表面反応のその場観察

電子スピン共鳴法によるシリコン系半導体表面層での表面反応のその場観察
利用电子自旋共振法原位观察硅基半导体表面层的表面反应
批准号:
98J06901
负责人:
梅田 享英
金额:
$1.15万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份:
1998
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1998 至 1999
关键词:

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電流検出電子スピン共鳴法によるシリコン微細デバイスの2値現象の観察
  • 批准号:
    18760229
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额:
    $2.18万
  • 财政年份:
    2006
  • 负责人:
    梅田 享英
  • 依托单位:
微細電子デバイス中の点欠陥に対する超高感度電子スピン共鳴スペクトロスコピーの研究
  • 批准号:
    16760245
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额:
    $2.5万
  • 财政年份:
    2004
  • 负责人:
    梅田 享英
  • 依托单位: