半導体中に形成されるフイラメント状プラズマとその応用

半导体中形成的丝状等离子体及其应用

基本信息

  • 批准号:
    X42440-----53478
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 0.07万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Particular Research
  • 财政年份:
    1967
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1967 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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  • 通讯作者:
    北島謙生,中井陽一,W.M.C. Sameera,宮﨑彩音,柘植雅士,日高宏,香内晃,渡部直樹
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知道了