低温表面加工による Si 単結晶の表面格子欠陥の生成機構に関する研究
低温表面加工による Si 単結晶の表面格子欠陥の生成機構に関する研究
低温表面处理硅单晶表面晶格缺陷形成机制研究
批准号：
X00210----775039
负责人：
川上 隆司
金额：
$0.15万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1972
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1972 至 --
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