遠心式真空ポンプの開発研究
遠心式真空ポンプの開発研究
离心式真空泵的研发
批准号：
X00090----255075
负责人：
前田 稔幸
金额：
$1.28万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1977
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1977 至 --
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ターボ分子ポンプの開発に関する研究
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批准号：X00090----555080
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$1.6万
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财政年份：1980
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负责人：前田 稔幸
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依托单位：