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紫外線露光によるサブミクロンのフォトエッチング過程の研究

紫外線露光によるサブミクロンのフォトエッチング過程の研究
紫外曝光亚微米光刻工艺研究
批准号：
X00040----311007
负责人：
竹中 はる子
金额：
$0.96万
依托单位：
Japan Women's University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1978
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1978 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-X00040----311007/
关键词：

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セルロースの膨潤過程におけるマクロ構造変化のX線による動的測定
  • 批准号：
    59460210
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $5.63万
  • 财政年份：
    1984
  • 负责人：
    竹中 はる子
  • 依托单位：
    Japan Women's University
繊維物性と微細構造の関係に関する研究
  • 批准号：
    56460189
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $5.95万
  • 财政年份：
    1981
  • 负责人：
    竹中 はる子
  • 依托单位：
    Japan Women's University
紫外線露光によるサブミクロンのフォトエッチング過程の研究
  • 批准号：
    X00040----410507
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Special Project Research
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1979
  • 负责人：
    竹中 はる子
  • 依托单位：
    Japan Women's University
紫外線露光によるサブミクロンのフォトエッチング過程の研究
  • 批准号：
    X00040----211706
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Special Project Research
  • 资助金额：
    $0.77万
  • 财政年份：
    1977
  • 负责人：
    竹中 はる子
  • 依托单位：
    Japan Women's University