金属蒸気一希ガス混合物中における電子輸送係数の測定
金属蒸気一希ガス混合物中における電子輸送係数の測定
金属蒸气-稀有气体混合物中电子传输系数的测量
批准号：
X00090----455115
负责人：
中村 義春
金额：
$1.28万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1979
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1979 至 --
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会议论文
電子スオーム法による半導体製造ガス分子の電子衝突断面積の決定
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批准号：63632524
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额：$1.41万
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财政年份：1988
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负责人：中村 義春
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依托单位：
低温金属蒸気中における電子移動速度の測定
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批准号：X00090----355128
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$0.96万
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财政年份：1978
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负责人：中村 義春
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依托单位：