双晶・変形メカニズムを用いたナノ・ドットメモリの試み

使用孪生和变形机制的纳米点存储器的尝试

• 批准号: 08875054
• 负责人: 中尾 政之
• 金额: $ 1.6万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08875054/
• 关键词: 双晶変形; 微細ドット; 紫外線レーザ; ダイヤモンド針; 押し込み

本研究の目的は、双晶変形する金属に直径20nm程度の微細ドットを書き込み、紫外線レーザをわずかに当てることでもう一度平坦面に戻す、というイレ-ズ可能のナノ・ドットメモリを開発することである。予備実験において、これらの微細ドット(ただし直径は約5μm)は沸騰した水に1分入れると、約20nmの深さが約5nmと浅くなることを確認している。実験では、Ni-Tiの合金の多結晶箔を用いて、直径20nm程度のドット列を製作し、紫外線レーザ照射後にそのドットが消去されるか否かを確かめた。ドット作成は電子顕微鏡下で微小径のダイヤモンド針を、歪ゲージ式の力センサで10μN程度の押し込み力を制御しながら行った。ドット加熱は既存のYAG第4高調波レーザ加工機で、評価は既存の原紙間力顕微鏡と既存の電界放射式走査形電子顕微鏡とで、それぞれ行った。その結果、ドットを作ることで生じた数%以内の歪は双晶変形によって可逆的にもとの平面状態に戻ることが可能であること、深さ5nm程度の表面は試料の加工変質層であり、双晶変形が生じにくいこと、紫外線レーザ光では表面が溶けて蒸発せずに再び固まるという現象が起きて、表面に多さ0.1μm程度の段々が生じること、などがわかった。今後の対策として、加工変質層を1nm以下にするため表面を沸酸でエッチン除去をした試料を用いること、レーザを紫外線から赤外線のものに代えて加熱すること、などを試みる。

In this study, the purpose of this study is to measure the diameter of the metal in the shape of the double crystal, the diameter of the metal, the diameter of the double crystal, the diameter of the metal, the diameter of the metal, the diameter of the double crystal, the diameter of the metal, the diameter of the metal, the diameter of the double crystal, the diameter of the metal, the diameter of the double crystal, the diameter of the metal, the diameter of the double crystal, the diameter of the metal, the diameter of the double crystal, the diameter of the metal. In order to make sure that the temperature is low (the diameter is about 5 μ m), the boiling water is divided into the water, the 20nm is deep, and the 5nm is shallow. The poly-crystal foils of Ni-Ti alloy are used to determine the temperature, the diameter of the 20nm is measured, and the UV radiation is used to eliminate the temperature. The equipment is made into an electric microphone, which is used to control the micro-path, the micro-path, the bending force and the force of 10 μ N to control the operation of the vehicle. In addition to the existing YAG 4th high-speed wave generator processing machine, the existing mechanical force micro-device, the existing electronic radioactive mobile computer micro-sensor, and the existing electrical equipment operating system. The results of the experiment show that the distortion of the double crystal is within the percentage of the number of samples, the plane shape of the double crystal is reversible, the surface material is processed at the level of deep 5nm, the double crystal is produced, the double crystal is produced, the UV light is dissolved on the surface, and then the surface is cured. The surface has a degree of 0.1 μ m, which is different from that of the surface. In the future, the following information is required for processing and processing. Boiling acid on the surface is used to remove the raw material. The ultraviolet ray is used to remove the raw material. The ultraviolet ray is used to remove the raw material.

项目成果

中尾政之他4名: "ナノドットメモリ作成の試み" 機械学会第74期通常総会講演論文集. (1997)

Masayuki Nakao 等 4 人：“尝试创建纳米点存储器”日本机械工程师学会第 74 届年度大会记录（1997 年）。