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レーザー誘起蛍光法によるフロロカーボンプラズマ中の中性ラジカル測定

レーザー誘起蛍光法によるフロロカーボンプラズマ中の中性ラジカル測定
激光诱导荧光法测定碳氟等离子体中的中性自由基
批准号:
97J01815
负责人:
鈴木 千尋
金额:
$0.58万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份:
1998
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1998 至 --
关键词:

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特定粒子からの真空紫外放射光強度分布の簡便な計測法の確立と周辺プラズマへの適用
  • 批准号:
    18760639
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额:
    $1.92万
  • 财政年份:
    2006
  • 负责人:
    鈴木 千尋
  • 依托单位:
真空紫外域透過フィルタとフォトダイオードアレイによるプラズマ中の不純物分布計測
  • 批准号:
    15760626
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额:
    $1.66万
  • 财政年份:
    2003
  • 负责人:
    鈴木 千尋
  • 依托单位:
リニアコライダーに用いる高電界スピン偏極電子銃の開発
  • 批准号:
    00J03927
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额:
    $1.98万
  • 财政年份:
    2000
  • 负责人:
    鈴木 千尋
  • 依托单位: