Single molecule sensing using nano-heater embedded nanopores

ナノヒータ組込みナノポアを用いたDNAの1分子検出を実施した。実験では、直径100 nmのナノポアの周囲に渦巻き状の白金ナノワイヤを集積した構造を作製した。まず、両面が厚さ50 nmの窒化シリコン膜でコートされたシリコンウエハの片面を部分的にウェットエッチング処理することで、約100 μm四方の大きさの窒化シリコンメンブレンを形成した。その後、電子線リソグラフィにより渦巻きパターンを描画し、厚さ20 nmの白金層をスパッタ法により蒸着したのち、有機溶媒中でリフトオフした。そうして作製した白金ナノワイヤの中央部に、今度は電子線リソグラフィにより直径120 nmの円を描画した。現像後、レジスト層をマスクとして用い、反応性イオンエッチングによりナノポアを開口させた。最後に、メンブレン上面から化学蒸着法により厚さ20 nmの二酸化ケイ素層を蒸着した。測定では、当該ナノワイヤをジュール加熱させた状態でイオン電流計測によるλDNAの1分子検出を実施した。ナノポアを通るイオン電流は、ヒータ温度の上昇に伴い増大する傾向を示した。これは、虚構所的に昇温された水の粘性が低下したことによるものと解釈できる。一方、DNAの捕捉効率はヒータ温度に対して敏感に変化し、DNAの泳動ダイナミクスにおいて熱泳動力の影響が顕著であることを確認した。また、ある一定温度を超えるとDNAはナノポア近傍の局所熱により2本の1本鎖DNAに分裂することを明らかにした。

ナノヒータ組込みナノポアを用いたDNAの1分子検出を実施した。実験では、直径100 nmのナノポアの周囲に渦巻き状の白金ナノワイヤを集積した構造を作製した。まず、両面が厚さ50 nmの窒化シリコン膜でコートされたシリコンウエハの片面を部分的にウェットエッチング処理することで、約100 μm四方の大きさの窒化シリコンメンブレンを形成した。その後、電子線リソグラフィにより渦巻きパターンを描画し、厚さ20 nmの白金層をスパッタ法により蒸着したのち、有機溶媒中でリフトオフした。そうして作製した白金ナノワイヤの中央部に、今度は電子線リソグラフィにより直径120 nmの円を描画した。現像後、レジスト層をマスクとして用い、反応性イオンエッチングによりナノポアを開口させた。最後に、メンブレン上面から化学蒸着法により厚さ20 nmの二酸化ケイ素層を蒸着した。測定では、当該ナノワイヤをジュール加熱させた状態でイオン電流計測によるλDNAの1分子検出を実施した。ナノポアを通るイオン電流は、ヒータ温度の上昇に伴い増大する傾向を示した。これは、虚構所的に昇温された水の粘性が低下したことによるものと解釈できる。一方、DNAの捕捉効率はヒータ温度に対して敏感に変化し、DNAの泳動ダイナミクスにおいて熱泳動力の影響が顕著であることを確認した。また、ある一定温度を超えるとDNAはナノポア近傍の局所熱により2本の1本鎖DNAに分裂することを明らかにした。