X線リングラフィによる極微細加工
X線リングラフィによる極微細加工
使用 X 射线磷光技术进行超精细加工
批准号：
57217035
负责人：
村田 顕二
金额：
$2.56万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1982
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1982 至 --
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会议论文
X線リソグラフィによる極微細加工
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批准号：58209039
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项目类别：Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额：$1.28万
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财政年份：1983
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负责人：村田 顕二
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依托单位：
Electron-resistを用いたmicrofa-bricationにおける分解能向上のための研究
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批准号：X00095----965002
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (D)
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资助金额：$0.31万
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财政年份：1974
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负责人：村田 顕二
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依托单位：
走査型電子顕微鏡における背面散乱電子像の分解能向上およびその新しい情報源に関する研究
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批准号：X00210----775026
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.15万
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财政年份：1972
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负责人：村田 顕二
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依托单位：
Monte Carls 計算による走査型電子顕微鏡の分解能及びコントラストの解析ならびにその実用化
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批准号：X45210------5016
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.19万
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财政年份：1970
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负责人：村田 顕二
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依托单位：