课题基金 / 基金详情

酸化タングステン薄膜の電子線レジスト材料への応用

酸化タングステン薄膜の電子線レジスト材料への応用
氧化钨薄膜在电子束抗蚀材料中的应用
批准号:
57550003
负责人:
池田 俊夫
金额:
$0.83万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份:
1982
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1982 至 --
关键词:

项目摘要

项目成果

池田 俊夫的其他基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
京都周辺の地域地質教材の基礎的研究
  • 批准号:
    61916028
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (B)
  • 资助金额:
    $0.13万
  • 财政年份:
    1986
  • 负责人:
    池田 俊夫
  • 依托单位:
酸化モリブデンレジストの集積回路作成への応用
  • 批准号:
    59550003
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1984
  • 负责人:
    池田 俊夫
  • 依托单位:
京都周辺の地域地質教材の基礎的研究‐特に木津川水系の河床礫と周辺の地質について‐
  • 批准号:
    59916023
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (B)
  • 资助金额:
    $0.14万
  • 财政年份:
    1984
  • 负责人:
    池田 俊夫
  • 依托单位:
京都周辺の地域地質教材の基礎的研究-特に京都盆地周辺の第四系を中心にして-
  • 批准号:
    57916028
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (B)
  • 资助金额:
    $0.15万
  • 财政年份:
    1982
  • 负责人:
    池田 俊夫
  • 依托单位: