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極微構造デバイスのためのプロセス技術の研究
微结构器件工艺技术研究
基本信息
- 批准号：59103008
- 负责人：
- 金额：$ 8.32万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Special Project Research
- 财政年份：1984
- 资助国家：日本
- 起止时间：1984 至 无数据
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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赤崎 勇其他文献
膜厚変化に伴うGaInN/GaNヘテロ接合の微細構造観察
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- 发表时间：
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- 影响因子：0
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- DOI：
- 发表时间：
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Atsushi Nakajima
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62604557 - 财政年份：1987
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極微構造デバイスのためのプロセス技術の研究
微结构器件工艺技术研究
- 批准号：
58209025 - 财政年份：1983
- 资助金额：
$ 8.32万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
極微構造デバイスのためのプロセス技術の研究
微结构器件工艺技术研究
- 批准号：
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Grant-in-Aid for Special Project Research
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