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Laterale Depositionssteuerung von Nanometerpartikeln für die Mikroelektronik

Laterale Depositionssteuerung von Nanometerpartikeln für die Mikroelektronik
微电子纳米颗粒的横向沉积控制
批准号：
5205782
负责人：
Professor Dr. Franz-Josef Tegude
金额：
$0.0万
依托单位：
Lehrstuhl für Bauelemente der Höchstfrequenzelektronik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2000
资助国家：
德国
项目状态：
已结题
起止时间：
1999-12-31 至 2002-12-31
来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5205782?language=en
关键词：
LateraleDepositionssteuerungvonNanometerpartikelndie

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