遷移金属-アルミニウム系アモルファス合金薄膜抵抗体の作成と熱時効安定化の検討
遷移金属-アルミニウム系アモルファス合金薄膜抵抗体の作成と熱時効安定化の検討
过渡金属-铝非晶合金薄膜电阻的研制及热老化稳定性研究
批准号：
60550219
负责人：
佐々木 克孝
金额：
$0.58万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1985
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1985 至 --
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会议论文
超LSIメタライゼ-ション技術へのアルミニウム金属間化合物膜の適用に関する研究
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批准号：02232202
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额：$1.73万
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财政年份：1990
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负责人：佐々木 克孝
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依托单位：