重金属クラスターイオン照射による非線型スパッタリング現象の基礎的研究
重金属クラスターイオン照射による非線型スパッタリング現象の基礎的研究
重金属团簇离子辐照非线性溅射现象的基础研究
批准号：
60750027
负责人：
奥谷 剛
金额：
$0.58万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1985
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1985 至 --
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イオン照射に伴う選択スパッタリング現象の基礎的研究
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批准号：58750027
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.6万
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财政年份：1983
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负责人：奥谷 剛
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依托单位：