電子材料加工用プラズマ中における反応性イオン種と残留ガス効果の粒子種的研究
電子材料加工用プラズマ中における反応性イオン種と残留ガス効果の粒子種的研究
用于加工电子材料的等离子体中反应离子种类和残余气体效应的粒子类型研究
批准号：
61780005
负责人：
秋津 哲也
金额：
$0.58万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1986
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1986 至 --
中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
負イオンを含むプラズマ中におけるシース形成機構の解明と半導体材料加工への応用
-
批准号：60780007
-
项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
-
资助金额：$0.58万
-
财政年份：1985
-
负责人：秋津 哲也
-
依托单位：