導波路型光ゲートを用いる超高速光信号処理

使用波导型光闸的超高速光信号处理

• 批准号: 62211014
• 负责人: 古賀 隆治
• 金额: $ 0.64万
• 依托单位: Okayama University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Special Project Research
• 财政年份: 1987
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1987 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-62211014/
• 关键词: LiTaO_3; ピコ秒レーザパルス; 導波路光ゲート; 波形観測Cuドープ

開発しようとするものは, タンタル酸リチウム(LiTaO_3:LT)基板上に集積された複数の導波路スイッチを中心とする光回路によって10ピコ秒を単位とするレーザパルスの波形観測を行うシステムである. その特徴は, 対象とする波形が繰り返し波形でなく, 孤立波形でもかまわない点にある. 昭和61年度では, LT基板上に2次元導波路を形成する化学プロセスの開発に力を注ぎ, それを受けて昭和62年度には, LN基板上に線状の導波路を形成し, またそのパターンを制御すること, および制御電極の形成を試みた.この導波路はLT基板に銅を熱拡散して作成した. その利点は拡散温度が約600°CとLTのキュリー点より低く, 全体の工程数が省けることにある. しかし実験の結果, 単に表面から浸み込ませる形でCuを熱拡散しただけでは, 出来上った導波路の屈折率分布が数週間のうちに変化し, 使用に耐えなくなることが判明した. 各種の試行の後, 熱拡散の直前にガラス膜で保護すればこの現象があらわれないことを確認した.製作した導波路スイッチは全反射型のものであるが, 動作試験の結果, 一応のスイッチ機能は呈するものの, 明瞭ではなかった. これは, 導波路および制御電極のパターンの「きれ」が悪いこと, および端面の荒れに起因するものと想像され, フォトリソグラフィの空間分解能の向上が必要となった.

Open 発 し よ う と す る も の は, タ ン タ ル acid リ チ ウ ム (LiTaO_3: LT) substrate に set product さ れ た plural の way guided wave ス イ ッ チ を center と す る light circuit に よ っ て 10 ピ コ seconds を 単 a と す る レ ー ザ パ ル ス 観 の waveform measurement line を う シ ス テ ム で あ る. そ の, 徴 は, For the とする waveform が, the <s:1> return to the <s:1> waveform でなく, and the isolated waveform で で まわな まわな まわな にある point にある. Showa 61 で は, LT substrate に 2 dimensional guided wave road を form す る chemical プ ロ セ ス の open 発 に を ぎ injection force, そ れ を by け て showa 62 に は, LN the substrate に linear の way を し formation, guided wave ま た そ の パ タ ー ン を suppression す る こ と, お よ び suppression の electrode formed を try み た. こ の way guided wave は LT copper substrate に を hot company, scattered し て made し た. そ の tartness は が company, bulk temperature of about 600 ° C と LT の キ ュ リ ー point よ り low く, all の け province several が る こ と に あ る. し か し be 験 の results, 単 に surface か ら leaching み 込 ま せ る form で Cu を hot company, scattered し た だ け で は, out on っ た guided wave road の inflectional rate distribution が weeks between の う ち に - し, use に え な く な る こ と が.at し た. After the trial operation of various <s:1>, the phenomenon of にガラス membrane で protecting すれば <s:1> before the heat 拡 dissipates とを was confirmed to be があらわれな た とを とを とを とを とを た た. Making し た guided wave road ス イ ッ チ は total reflection type の も の で あ る が, action test の as a result, a 応 の ス イ ッ チ function は show す る も の の, clear で は な か っ た. こ れ は, guided wave road お よ び suppression electrode の パ タ ー ン の "き れ" が 悪 い こ と, お よ び face の drought れ に cause す る も の と imagine さ れ, The spatial decomposition of フォトリソグラフィ can move が upward が requires となった.