真空絶縁破壊前駆状態における生成イオンの同定

真空预击穿状态下生成离子的识别

• 批准号: 62550194
• 负责人: 鈴木 憲司
• 金额: --
• 依托单位: Saitama University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1987
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1987 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-62550194/
• 关键词: 真空絶縁破壊; 質量分析; 電子衝撃脱離

真空ギャップの絶縁破壊原因となる前駆状態時に電極から発生するキャリアについて, その成分の同定を行った. はじめに, 交付申請書に述べてある通り, 実験能率の向上のために実験装置の改造を行った. 即ち, 粗引き系にターボ分子ポンプを導入し, 排気能力を強化した. その結果, 供試電極交換後測定可能圧力に到達するまでの時間が, それまでの二日から一日に短縮され, 所期の目的を果たすことができた. 更に, 到達圧力も従来の2×10^<-8>TORRから5×10^<-9>Torrに改善され, 予想以上の好結果が得られた. ついで, 測定系で必要とされる各種電子回路装置の製作を行った. 必要な部品にかなりの部分従来から準備していたものを使用することで所要の機能, 性能の装置を用意することができた.以上の準備の後, 実験を開始した. 電極材料にはアルミニウム, 銅, 鉄を用い, 直流電源により定常的な破壊前駆状態として, 発生イオンの質量分析を行った. その結果, 発生イオンは, 電極材料に関係なく, 真空容器内の残留ガス成分と一致することが判明した. 即ち, H, H_2, CH_4, H_2O, CO, CO_2等である. 当初予想されていた電極材料イオンが検出されていないことが特徴的である. これらのイオンは, 電極表面に吸着していた残留ガスが, 電子照射による電子衝撃脱離現象にもとづいて発生したものと結論づけられた. この結果から, 前駆状態において発生するイオンが, 真空の質に依存することを明確にした. 電極間のイオンは, その運動速度が低いために空間電荷効果により極間の電位分布を変化させる. 従って, 真空の質が電位分布の変化を支配することになる. これらのことから, 破壊現象の解明には, 従来等閑視されてきた電極表面吸着ガスと電子線との相互作用が, 重要な素過程の一つとして考慮されなければならないことが明かとなった.

The reason for vacuum breakdown is that the electrode is not generated in the previous state, and the composition is constant. The delivery of the application form is described in the following paragraphs. In other words, the ability to expel pollutants from the environment is enhanced. As a result, the test electrodes were exchanged to determine the time at which the potential pressure was reached. Furthermore, the pressure drop from 2×10 <-8>^TORR to 5×10^<-9>Torr was improved. The measurement system is necessary for the manufacture of various electronic circuit devices. The necessary parts are prepared for use, the desired function, the performance of the device is intended. After the above preparations, the process begins. Electrode materials include copper, iron, DC power supply, steady state, and quality analysis. As a result, the relationship between the electrode materials and the residual components in the vacuum vessel was identified. H, H_2, CH_4, H_2O, CO, CO_2 etc. At first, it was thought that the electrode material would be different from the characteristic one. The results of electron impact on the surface of the electrode The result of this is that the state of the vacuum is dependent on the state of the vacuum. The velocity of motion between the electrodes decreases, the space charge effect decreases, and the potential distribution between the electrodes decreases. The change of potential distribution in vacuum is controlled. The solution of this phenomenon is to consider the adsorption of electrons on the surface of electrodes and the interaction of electron lines in important elemental processes.

项目成果

小林信一,鈴木憲司: 昭和63年電気学会全国大会.

Shinichi Kobayashi、Kenji Suzuki：1986 年日本电气工程师学会全国会议。

S.Kobayashi, K.Suzuki: J. Phys. D.

S.Kobayashi，K.Suzuki：J. Phys。