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センサ用光コンポーネント・光回路の一体・集積化

传感器用光学元件、光电路的集成与集成

基本信息

批准号：
63102004
负责人：
末田正
金额：
$ 18.43万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1988
资助国家：
日本
起止时间：
1988 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

1)シリコン基板導波路の利用を考え、微細加工技術を組合せて新センサを実現する可能性を追及した。具体的にはダイアフラム、カンチレバ構造を考え、圧力、流量などによるそれらの変形を干渉形光回路によって検出する。解析および試作・実験によって基本的な動作を確かめた。2)周波数シフタを含むLiNbO_3デバイスと、マイクロフレネルレンズアレイをハイブリッド集積化した差動型・光集積LVDを提案、試作し、SN比20dBで物体の回転速度が検出できることを実証した。3)導波型pHセンサを試作し光変調器部の動作を確認した。プロトン交換LiTaO_3光導波路を作成した。DFBレーザに関して0.88μm帯での実用可能性、0.78μm帯で低閾値室温発振特性を得た。4)電界センサとして反射型光変調器の解析し、実際に電界を測定できることを確かめた。分岐干渉形光変調器を設計・試作し、数V/cm程度の電界測定の可能性を確認した。導波路分岐角の拡大法を考案した。5)膜厚数nmの極薄膜資料についての各物質の軟X線光学定数データの集積を更に進めた。これらをもとに高エネルギー研究所(PF)光CVDライン用反射型多層膜フィルタを試作し、その実用性を確かめた。6)光平面回路の考え方を整理し、それを支配する表面波平面回路方程式を導出して3次元導波路に本手法を適用し、その有用性を確かめた。実際にストリップ型光導波路を試作し、理論解析との良い一致を見た。7)ARROW型干渉計と光検出器とを集積した。それらの高効率結合法を明らかにし、実際にそれらを集積した素子を試作して、デュアルコアファイバと組合せた温度センサによってその基本的動作を確認した。8)Cu拡散LiTaO_3光導波路の高精度作成法を確立した。これを基礎に全反射型光スイッチを試作しその基本的な動作を確認した。ファイバ束保持用にSi基板異方性エッチングによりV溝治具を作成した。

The main results are as follows: 1) the guiding wave of the substrate is used to make use of the technology of micro-processing and micro-processing technology to realize the possibility of realizing the possibility of success. Specific equipment, power, flow rate, optical circuit, dry light circuit, power, flow rate, pressure, flow rate, power and flow rate. Analyze the basic actions that are correct and correct. 2) the wavenumber of the cycle includes LiNbO3, LNbO3, LNbO3, LiNbO3, LiNbO3, LiNbO3, 3) the wave type pH value is changed and the optical device is activated to confirm the error. Make sure that the LiTaO_3 light-guided wave path is connected to each other. The possibility of using DFB is 0.88 μ m, and the room temperature vibration characteristic is 0.78 μ m low. 4) the electronic industry is responsible for the analysis of reflective optical devices, and the international electrical industry is responsible for determining the accuracy of the reflective optical equipment. The design of the bifurcation interferometer is designed, and the possibility of the measurement of the V/cm degree is confirmed. The divergence angle of the wave road and the examination case of the Dafa. 5) Film thickness nm extreme thin film data measurement. X-ray optical measurement is used to improve the performance of each material. The CVD of the Institute of Research (PF) uses a reflective polythene film to make sure that the performance is high. 6) the optical plane circuit "examines the square" and dominates the surface wave plane loop equation "three-dimensional wave path". This method is useful and useful. In the international market, the light-guided wave path is in good agreement with the theoretical analysis. 7) Arrow type dry design and optical output device. The temperature is very high, and the temperature is very high. In this way, the basic actions of the temperature system, the temperature, the temperature, the temperature 8) the high-precision fabrication method of Cu scattered LiTaO_3 optical guided wave path is accurate. On the basis of the total reflection type of light, this is the basic action to confirm. The bundles are maintained to be made with the square fixture of the Si substrate.