イオン誘起オージェ電子放出測定による薄膜形成過程における薄膜表面の研究
イオン誘起オージェ電子放出測定による薄膜形成過程における薄膜表面の研究
通过离子诱导俄歇电子发射测量研究薄膜形成过程中的薄膜表面
批准号：
63750008
负责人：
伴野 達也
金额：
$0.58万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1988
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1988 至 --
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高精度真空天秤を応用したプラズマ・固体表面相互作用の研究
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批准号：08875006
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项目类别：Grant-in-Aid for Exploratory Research
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资助金额：$1.28万
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财政年份：1996
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负责人：伴野 達也
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依托单位：
炭素薄膜形成のための表面磁場閉じ込めプラズマ発生装置における電子温度の制御
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批准号：63632506
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额：$1.09万
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财政年份：1988
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负责人：伴野 達也
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依托单位：