超磁歪アクチュエ-タに関する研究-新素材の開発とデバイスへの応用-

超磁致伸缩致动器研究-新材料开发及器件应用-

• 批准号: 01550086
• 负责人: 江田 弘
• 金额: $ 1.09万
• 依托单位: Ibaraki University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1989
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1989 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-01550086/
• 关键词: 超磁歪材料; Tb_×Dy_<(1-y)>Fe_2(Mn.Co); 超精密位置決め; 希土類合金; 磁気回路設計

現在使用されている超精密位置決めのアクチュエ-タは、PZT素子、つまり電歪を利用したデバイスが主流を占めており、本研究の超磁歪を利用した例はみられない。ここでPZTの問題は、高出力が欲しいことまた積層数を増し、高電圧にすると短絡すること、および3kgf/mm^2以上の荷重をかけると圧壊する等の問題がある。本研究は、PZTが軽重量物をÅオ-ダで移動することに優れた特性を持つことに対して、それより周波数特性が劣るものの大出力で、大変位を持ち、超精密位置決めができる新素材の開発とそれによるデバイスの製作を考えた。超磁歪材料はRF_2にこれまでの研究経緯から的を絞った。Rは、SmDy、Tb、Ho、Er、Tmとの適正配合を考えた。研究は、弾性率E^<YH>、E^<YB>、エネルギ密度、磁歪、機械結合係数、および磁歪についてCADによるコンピュ-タ検討を行った。その結果TbFe_2、DyFe_2、Tb_<0.3>Dy_<0.7>Fe_2、Tb_<1.5>Ho_<0.85>Fe_2、Tb_<0.55>Dy_<0.45>Fe_2、Tb_<0.46>Ho_<0.54>Fe_2、Tb_<0.53>Dy_<0.34>Ho_<0.13>が超磁歪を発現することが明らかとなった。つぎに、Tb_<0.3>Dy_<0.7>Fe_2を用いて、超精密位置決めデバイスの製作に入った。まず、超磁歪アクチュエ-タの磁界設計を有限要素法を用いて最適設計を実施した。つぎに、科研費の設備費で購入したラップトップパソコンJ3100,DVM(GP-IB付)、電源(パワ-ソ-スとコントロ-ラ)、デジタルボルトメ-タを組み合せ、試作した超磁歪位置決め装置の計測評価を行った。超磁歪入=2000ppmが得られた。PZTの5倍出力PZTの2〜40倍が得られた。また超精密位置決めは、50nmまで達成できた。問題は、ジュ-ル熱による熱変位が現われたので、これを制御するシステム開発がキ-ポイントとして残った。現在±0.01℃まで制御できるデバイスをCAD検討中である。

Now use さ れ て い る ultra-precision position definitely め の ア ク チ ュ エ - タ は, PZT element, つ ま り electric slanting を using し た デ バ イ ス が mainstream を of め て お り, this study の super magnetic slanting を using し た example は み ら れ な い. こ こ で PZT の problem は, higher power が desire し い こ と ま た product layer を raised し, high electric 圧 に す る と short collaterals す る こ と, お よ び above 3 KGF/mm ^ 2 の load を か け る と 圧 壊 す る の problems such as が あ る. This study は, PZT が 軽 weight content を オ - A ダ move で す る こ と に optimal れ た features を hold つ こ と に し seaborne て, そ れ よ り cycle for feature が substandard る も の の で of output, big - A を hold ち, ultra-precision position definitely め が で き る new material の open 発 と そ れ に よ る デ バ イ ス の making を exam え た. The supermagnetic deft material に RF_2に れまで <s:1> studies the を twist った of longitude and latitude ら ら. R と, SmDy, Tb, Ho, Er, Tmと <s:1> are properly combined with を to test えた. Research は, E ^ 弾 sex rate < YH >, E ^ < I >, エ ネ ル ギ density, magnetic slanting, mechanical combination coefficient, お よ び magnetic slanting に つ い て CAD に よ る コ ン ピ ュ - タ 検 line for を っ た. そ の results TbFe_2, DyFe_2, Tb_ < 0.3 > Dy_ < 0.7 > Fe_2, Tb_ < 1.5 > Ho_ < 0.85 > Fe_2, Tb_ < 0.55 > Dy_ < 0.45 > Fe_2, Tb_ < 0.46 > Ho_ < 0.54 > Fe_2, Tb_ < 0.53 > Dy_ < 0.34>Ho_<0.13>が supermagnetic distortion を occurs する する とが bright ら となった となった. Youdaoplaceholder0 ぎに, Tb_<0.3>Dy_<0.7>Fe_2を is made by ぎに て and ultra-precision position めデバ ス ス pieces に into った. ま ず, super magnetic slanting ア ク チ ュ エ - タ の magnetic industry design を を finite element method with い て を optimum design be applied し た. つ ぎ に, KeYanFei の equipment fee で buy し た ラ ッ プ ト ッ プ パ ソ コ ン J3100, DVM (GP - IB pay), power (パ ワ ソ - ス と コ ン ト ロ - ラ), デ ジ タ ル ボ ル ト メ - タ を group み せ, attempt し た magnetic crooked position definitely め equipment の meter measurement 価 を line っ た. Supermagnetic deflection =2000ppmが gives られた. 5 times the output of PZT, 2 to 40 times the output of PZT が, we get られた. Youdaoplaceholder0 ultra-precise position determination め め, 50nmまで to achieve で た た. Problem は, ジ ュ - ル hot に よ る hot - a が now わ れ た の で, こ れ を suppression す る シ ス テ ム open 発 が キ - ポ イ ン ト と し て residual っ た. Now ±0.01℃まで is used to control で るデバ るデバ るデバ スをCAD検 in である.

项目成果

Hiroshi EDA: "Technical Intormation on Magnetostrictive Rods" FEREDYN AB,By Uppsala,Sweden. 17-18 (1989)

Hiroshi EDA：“磁致伸缩棒的技术信息”FEREDYN AB，瑞典乌普萨拉。

江田弘: "超磁歪アクチュエ-タに関する研究" 1990年精密工学会春季大会学術講演論文集. A21. (1990)

Hiroshi Eda：“巨磁致伸缩致动器的研究”1990 年日本精密工程学会春季会议论文集 (1990)。

樋口敏郎生田〓士編集: "マイクロメカニカルシステム(3章第2節、他)" フジ・テクノシステム, 600 (1991)

樋口敏郎、生田编：《微机械系统（第 3 章第 2 节等）》Fuji Techno System，600（1991 年）

Hiroshi EDA: "Study on Ultra High Precision Actuator Using Giant Magnetostriction" Proc.10th International Workshop on Rare Earth Magnets and Their Applications. May. 901-906 (1989)

Hiroshi EDA：“利用巨磁致伸缩的超高精度致动器的研究”Proc.10th International Workshop on Rare Earth Magnet and Their Applications。

江田弘: "超磁歪アクチュエ-タに関する研究(第1報)-超磁歪材料RFey(R=Tb.Dy)のアクチュエ-タとしての性能-" 精密工学会誌. 56. 388-392 (1990)

Hiroshi Eda：“超磁致伸缩致动器的研究（第一次报告）-超磁致伸缩材料 RFey (R=Tb.Dy) 作为致动器的性能”日本精密工程学会杂志 56. 388-392 (1990)。