走査を必要としないMOS型二次元光位置センサの開発

开发无需扫描的MOS型二维光学位置传感器

• 批准号: 01550315
• 负责人: 丹生 博彦
• 金额: --
• 依托单位: Himeji Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1989
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1989 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-01550315/
• 关键词: 光位置センサ; 二次元位置センサ; MOS型位置センサ

本研究は、我々の研究室が進めているMOS型光位置センサ(PSD)の開発の一環として行なわれた。この平成元年度では、本センサが交流LPV(Lateral Photovoltage)の位相を光位置信号とする場合において、如何に二次元センサとしての性能を発揮し得るかを、シミュレ-ションと実験によって明らかにした。その結果を以下に要約する。1.RCネットワ-クの等価回路モデルを用いてシミュレ-ションを実行し、次の点を明らかにした。(1)強度が均一であいスポット状の光が入射する場合でも、本センサは光の重心位置を良好な線形性をもって検出する。このことによって、本センサの二次元センサとしての有効性が確かめられた。(2)スポット光の二次元位置検出特性のシミュレ-ション結果は実験結果と良く一致した。従って、ここに採用したRCネットワ-クの等価回路モデルは本センサの最適化設計に有効なツ-ルとなる。2.Al-SiO_2-Si構造の二次元PSDを試作し、その特性を測定することによって次のことを実証した。(1)本センサは、線形性の点においても、従来のp-n接合型PSDの最上級のものと同程度以上である。(2)1ミクロンの二次元位置分解能を簡単な位相測定システムで実現されることを実証した。(3)センサ自身の応答時間は10^<-3>s以下であるが、現在使用している測定器を含めたシステム全体では数桁大きくなる。自動制御への応用を考えて、この速度についての改善特に位相測定計の高速化が望まれる。なお、2(1)の結果から、本センサを大面積化すれば実用状問題となる分割数(線形領域の長さ/最小検出変位)についても、従来のものを超えることが期待できるので、現在この点を追及すべく進めている。

This study is aimed at exploring the development of MOS-type optical position detectors (PSD) in our laboratory. In this case, how to develop the performance of the two-dimensional LPV(Lateral Photovoltage) is discussed. The results are as follows: 1. The RC has been working on a number of issues. (1)When the intensity is uniform and the light is incident, the light is linear and the center of gravity is linear. This is the first time I've ever seen you. (2)The results of the two-dimensional position detection are consistent with the results of the two-dimensional position detection. The optimal design of this system is based on the optimal design of the RC system. 2. The second dimension PSD of Al-SiO_2-Si structure is tested and its properties are determined. (1)This article is about the same degree or more of the highest level of the PSD of the p-n junction type. (2)1 The two-dimensional position decomposition can simplify the phase measurement and realize the phase transformation. (3)The response time is less than 10^<-3>s, and the current use of the detector is greater than the total number of seconds. Automatic control of the use of the test, the speed of the test and improve the speed of the phase measurement instrument is expected. The result of 2(1) is to enlarge the area of the object and to solve the practical problem. The number of partitions (the length of the linear field/the minimum output position) is to increase the expectation of the object. The current point is to pursue the object.

项目成果

Hirohiko Niu: "An MOS-Type Two-Dimensional PSD Using the AC Photovoltage Phase" JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 28. 2206-2210 (1989)

Hirohiko Niu：“使用交流光电压相位的 MOS 型二维 PSD”日本应用物理学杂志。