酸化物超伝導薄膜の表面弾性波

点击翻译按钮获取中文摘要

本研究実績の中味は次の2つの重要な仕事にわけることができる。1.弾性表面波用圧電薄膜の作製圧電薄膜をRFスパッタリング法を用いて作製しそのC軸配向性と作製条件との検討を行いスパッタガス圧力と基板温度の最適条件を求めた。これらの条件幅は非常にせまい。又この圧電膜にリソグラフィ法を用いてすだれ状電極を付け弾性表面波の発生、伝播及び受信を連続波法で試みた。基本周波数と電極間距離と波長の合理的な関係を反映した高調波も逐次検出した。それらの周波数対整数プロットから音速を求めたが予想に反して遅かった。2.圧電膜上の酸化物超伝導薄膜の作製この圧電薄膜上にBi(Pb)ーSrーCaーCuーO膜をRFスパッタリング法で蒸着しペレット同時熱処理によって主に2212相(Tc〜80K)を成長させた。基板となった圧電膜のC軸配向率が高い程ノ-マル状態での電気抵抗率が低くかつ残留抵抗比も大きかった。基板の圧電膜が単結晶でないためか成長した超伝導膜は粒状になっており粒界を仲介とする弱結合部が多数できておりこの膜の臨界電流の温度依存性はSNSタイプを示した。以上のように、圧電基板の作製とその基板上での超伝導膜の作製に成功した。圧電基板上の弾性表面波も発生・検出できた。今ポ-リング処理した圧電基板上の超伝導薄膜中を弾性表面波が伝播できるよう実験中である。