6軸アクチュエータを用いたダイヤモンド半導体基板の超精密研磨加工に関する研究
6軸アクチュエータを用いたダイヤモンド半導体基板の超精密研磨加工に関する研究
利用六轴驱动器对金刚石半导体基片进行超精密抛光的研究
批准号：
02750077
负责人：
厨川 常元
金额：
$0.58万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1990
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1990 至 --
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会议论文
抗菌性ハイドロキシアパタイト微粒子ジェットによる機能性厚膜創成と予防歯科への応用
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批准号：19656035
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项目类别：Grant-in-Aid for Exploratory Research
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资助金额：$2.18万
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财政年份：2007
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负责人：厨川 常元
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依托单位：
歯科用パウダージェットデポジション装置の開発と歯質再構築への応用
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批准号：16656048
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项目类别：Grant-in-Aid for Exploratory Research
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资助金额：$2.24万
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财政年份：2004
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负责人：厨川 常元
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依托单位：
パウダーフローポリッシング法の提案と歯ブラシ法に代わる口腔内清掃システムへの適用
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批准号：14655049
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项目类别：Grant-in-Aid for Exploratory Research
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资助金额：$2.11万
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财政年份：2002
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负责人：厨川 常元
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依托单位：
ファジー制御理論を適用したダイヤモンド半導体基板の熱化学複合研磨加工に関する研究
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批准号：03750080
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.58万
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财政年份：1991
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负责人：厨川 常元
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依托单位：