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酸化亜鉛/シリコン複合薄膜構造を用いた溶液系超音波物性測定用センサに関する研究

酸化亜鉛/シリコン複合薄膜構造を用いた溶液系超音波物性測定用センサに関する研究
氧化锌/硅复合薄膜结构溶液超声物性测量传感器的研究
批准号:
02750312
负责人:
橋本 研也
金额:
$0.58万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份:
1990
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1990 至 --
关键词:

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マイクロアクチュエータ用高効率弾性表面波変換器の開発
  • 批准号:
    17040009
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $2.5万
  • 财政年份:
    2005
  • 负责人:
    橋本 研也
  • 依托单位:
シリコン基板上の多層圧電ダイアフラム構造を用いた高分解能超音波イメージセンサ
  • 批准号:
    04750375
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $0.64万
  • 财政年份:
    1992
  • 负责人:
    橋本 研也
  • 依托单位:
シリコン基板上の高性能複合圧電薄膜構造超音波トランスジューサアレイに関する研究
  • 批准号:
    03750320
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $0.64万
  • 财政年份:
    1991
  • 负责人:
    橋本 研也
  • 依托单位:
圧電コンポジット振動子の波動論的解析とその設計手法の開発
  • 批准号:
    61750354
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $0.58万
  • 财政年份:
    1986
  • 负责人:
    橋本 研也
  • 依托单位: