面向靶材ECR溅射法制备垂直磁化薄膜-猫眼课题宝

面向靶材ECR溅射法制备垂直磁化薄膜

批准号：

02780010

负责人：

米須章

金额：

$0.64万

依托单位：

University of the Ryukyus

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)

财政年份：

1990

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

1990 至 --

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-02780010/

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ヘリカルアンテナを用いたECRスパッタ装置の開発

批准号：

08780458
项目类别：

Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
资助金额：

$0.58万
财政年份：

1996
负责人：

米須章
依托单位：

University of the Ryukyus

永久磁石を用いたECRスパッタリング装置の開発

批准号：

05780362
项目类别：

Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
资助金额：

$0.58万
财政年份：

1993
负责人：

米須章
依托单位：

University of the Ryukyus