アルミニウムガリウム砒素多層膜中に残留する内部応力の顕微ラマン分光分析による評価
アルミニウムガリウム砒素多層膜中に残留する内部応力の顕微ラマン分光分析による評価
使用显微拉曼光谱评估砷化铝镓多层膜的残余内应力
批准号：
03750227
负责人：
飯塚 完司
金额：
$0.51万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1991
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1991 至 --
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会议论文
MBE用ガリウム砒素基板の砒素分子線を用いない表面クリーニング法の開発
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批准号：07750022
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.58万
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财政年份：1995
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负责人：飯塚 完司
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依托单位：