ナノメートル位置決めテーブルの構造と制御
ナノメートル位置決めテーブルの構造と制御
纳米定位工作台的结构及控制
批准号：
04750096
负责人：
橋詰 等
金额：
$0.64万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1992
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1992 至 --
中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
機能集積形マイクロセンサによる超精密加工のインプロセス加工状態認識
-
批准号：12750090
-
项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
-
资助金额：$1.22万
-
财政年份：2000
-
负责人：橋詰 等
-
依托单位：
電気粘性流体応用超精密・高速位置決めテーブルシステムに関する研究
-
批准号：07750129
-
项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
-
资助金额：$0.7万
-
财政年份：1995
-
负责人：橋詰 等
-
依托单位：
電気粘性流体による超精密主軸駆動システムの開発
-
批准号：06750114
-
项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
-
资助金额：$0.58万
-
财政年份：1994
-
负责人：橋詰 等
-
依托单位：
超高速精密位置決めテーブルの構造と制御
-
批准号：05750110
-
项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
-
资助金额：$0.58万
-
财政年份：1993
-
负责人：橋詰 等
-
依托单位：