真空紫外光による酸化アルミ膜の選択エッチング
真空紫外光による酸化アルミ膜の選択エッチング
使用真空紫外光选择性蚀刻氧化铝薄膜
批准号：
04750262
负责人：
杉岡 幸次
金额：
$0.64万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1992
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1992 至 --
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会议论文
機能材料創製のための先端パルスレーザー加工技術の開発
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批准号：14F04709
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项目类别：Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额：$0.7万
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财政年份：2014
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负责人：杉岡 幸次
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依托单位：
紫外透光性ポリマーへのレーザーによるバイオフォトニックマイクロチップの作成
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批准号：08F08719
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项目类别：Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额：$1.22万
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财政年份：2008
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负责人：杉岡 幸次
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依托单位：
真空紫外ラマンレーザーによる石英ガラスの微細加工
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批准号：06750745
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.58万
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财政年份：1994
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负责人：杉岡 幸次
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依托单位：