化学増幅型レジスト内での放射線誘起反応の解明
化学増幅型レジスト内での放射線誘起反応の解明
化学放大抗蚀剂中辐射诱发反应的阐明
批准号：
04780224
负责人：
上坂 充
金额：
$0.58万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1992
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1992 至 --
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会议论文
研究開発的医学物理創成と人材育成
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批准号：18636020
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.18万
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财政年份：2006
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负责人：上坂 充
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依托单位：