放電励起ArFエキシマレーザの励起機構の分光学的研究

放电泵浦ArF准分子激光器激发机理的光谱研究

• 批准号: 05750269
• 负责人: 古橋 秀夫
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Aichi Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05750269/
• 关键词: ArFエキシマレーザ; レーザ吸収分光; 紫外レーザ; 励起機構; 放電励起

本研究では、放電励起ArFエキシマレーザの励起機構の解明を目的として以下のことを行なった。1.レーザ出力特性の測定と、放電パラメータの最適化波長193nmにおけるレーザー出力が、ガス圧、ガス混合比、希釈ガス、放電電圧等を変えたときどのように変化するかを調べ最適条件を求めた。また、そのときの放電電圧の時間変化を観測した。2.レーザ吸収分光測定放電中に色素レーザ(Arイオンレーザ励起CWリング色素レーザ)からの光を通過させ、吸収分光法により、励起He^*、Ne^*原子等の絶対密度の測定を行なった。Ne^*(3s^3P_2)およびHe^*(2p^3P)原子密度は最適条件下でそれぞれ1.7×10^<12>cm^<-3>、2.1×10^<12>cm^<-3>(ピーク値)と求まった。また各種放電パラメータを変化させたときのこれらの密度の変化を調べ、193nmレーザ光との関係について考察を行なった。3.コンピュータによる電子温度の計算実験で求めた放電電圧を用いてコンピュータによりボルツマン方程式を解き、電子温度を計算した。その結果と上記1、2の結果を比較して、励起機構についての考察を行なった。また赤外線He-Neレーザ光を用いた干渉法による電子密度の測定システムを構築し、現在測定のための予備実験を行っている。

This study is aimed at solving the problem of structural adjustment. 1. Determination of output characteristics and optimization of discharge voltage at wavelength 193nm. Determination of output, voltage, mixture ratio, discharge voltage, etc. The voltage of the battery is measured in time. 2. Determination of the absolute density of He^*, Ne^* atoms by absorption spectrometry Ne^*(3s^3P_2) He^*(2p^3P) atomic density<12><-3><12><-3>The density of various kinds of lithium ions is adjusted, and the relationship between 193nm and 193nm is investigated. 3. Calculation of electron temperature Compare the results of 1 and 2 above, and encourage the organization to investigate. The measurement system of electron density by infrared He-Ne fluorescence method is constructed and prepared.

项目成果

Hideo Furuhashi: "Density measurements of excited atoms in Ne/Ar/F2 and He/Ar/F2 mixtures excited by discharge" Int.Symp.on Laser and Optoelectronics Tech.& Appl.(Singapore). 200-205 (1993)

Hideo Furuhashi：“放电激发的 Ne/Ar/F2 和 He/Ar/F2 混合物中激发原子的密度测量”Int.Symp.on 激光和光电子技术。

Hideo Furuhashi: "Time-resolved density measurements of excited components in an ArF excimer laser" Conf.on Lasers and Electro-Optics(USA). 11. 298-299 (1993)

Hideo Furuhashi：“ArF 准分子激光器中激发成分的时间分辨密度测量”Conf.on Lasers and Electro-Optics（美国）。

古橋秀夫: "フィゾ-型レーザ干渉変位計の開発" レーザ研究. 21. 987-991 (1993)

Hideo Furuhashi：“斐索型激光干涉位移计的研制”《激光研究》21. 987-991 (1993)。

Hideo Furuhashi: "Experimental investigations of dischargeplasma a longitudinal discharge excimer laser" Bulletin of Aichi Institute of Technology. 29B. (1994)

Hideo Furuhashi：“放电等离子体纵向放电准分子激光器的实验研究”爱知工业大学通报。

Hideo Furuhashi: "Density measurements of excited components in a longitudinal discharage excimer laser" IEEE J.Quantnm Electron.29. 1520-1525 (1993)

Hideo Furuhashi：“纵向放电准分子激光器中激发成分的密度测量”IEEE J.Quantnm Electron.29。