ミリ波帯高誘電率薄膜集積回路の基礎研究

毫米波段高介电常数薄膜集成电路基础研究

• 批准号: 05750325
• 负责人: 黒木 太司
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05750325/
• 关键词: マイクロ波・ミリ波; ミリ波集積回路; 誘電体線路; 働振; 高誘電率薄膜

本研究は、新しいミリ波集積回路用導波路として提案した高誘電率薄膜線路の基本伝送特性を把握するものであり、周波数50GHzにおいて、以下のような結果を得た。1.高誘電率薄膜線路の理論的検討有限要素法をもとに、線路の諸特性を計算したが、中でも線路の単一モード伝送帯域は、薄膜の比誘電率を高くするほど広がり、金属方形導波管のそれに匹敵するという注目すべき特性が得られた。2.線路の製作誤差が伝送特性に与える影響の実験的検討高誘電率薄膜線路は平行導体板内の平行対称面に薄膜を配置したものであるが、その対称性が崩れた場合の影響を、2種類の比誘電率からなる薄膜をもとに測定した。結果として、いずれの場合も不要放射が発生し、実用に際しての問題点となった。これは今後の研究テーマとして、更なる検討を続けていく。3.高誘電率薄膜線路と同軸線路の接続に関する実験的検討高誘電率薄膜線路の実用性を高めるため、常用される同軸線路との接続方法を考案した。両線路は比較的容易に接続できることが分かったが、この結果は他の集積回路用プリント線路との接続へ発展させていく計画である。

In this study, the basic transmission characteristics of a novel waveguide for a high permittivity thin film circuit with a frequency of 50GHz are investigated. 1. Theoretical Analysis of High Inductance Thin Film Lines by Finite Element Method; Calculation of the Characteristics of the Lines; Calculation of the Transmission Range of the Lines; Calculation of the Specific Inductance of the Thin Film; Calculation of the Characteristics of the Metal Square Waveguides; and Calculation of the Characteristics of the Lines. 2. The influence of wire fabrication error on transmission characteristics and the measurement of specific permittivity of high permittivity thin films on parallel conductor plates are discussed. As a result, in the middle of the situation, do not emit radiation, but in the middle of the problem point. The future of the study will be discussed. 3. This paper discusses the practical application of high-permittivity thin film line and the connection method of common coaxial line. The circuit is easy to connect, and the result is that it is easy to connect to other integrated circuits.