強誘電体セラミックスを用いた微小応力センサーの開発

铁电陶瓷微应力传感器的研制

• 批准号: 06750081
• 负责人: 野間 竜男
• 金额: $ 0.77万
• 依托单位: Tokyo University of Agriculture and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-06750081/
• 关键词: 強誘電体; セラミックス; 応力; センサー; 微小歪; 電気応答

本研究では応力印荷によりセラミックス強誘電体において強誘電→常誘電相転移を生じさせ、そのため生成した大きな電位差を利用して微小な応力・歪が検出できるセンサーの開発を目的とする。最終的には微粒子の衝突など動的な解析が求められるが、この1年間には静的な応力・歪に対する応答特性を明らかにする。以下に研究成果を要約する。1.キュリー点を制御したセラミックスとしてストロンチウムを添加したチタン酸バリウムを取り上げ、錯体を原料とした新しいゾルゲル法により、平滑なセラミックス薄膜の合成に成功した。2.キュリー温度、微構造の評価を行ない、その結果、バリウムとストロンチウムが均質に置換していることがわかった。3.高電圧で分極処理を施した試料に微小ビッカース硬さ計で、種々の荷重で圧子を押し込み、その際電極間に流れた電流をエレクトロメーターならびにデジタルストレージスコープで測定した。4.生成した電位差、応力(又は歪み)、キュリー温度、分極域の大きさなど各パラ-メーター間の関係を議論した。その結果、圧子負荷および除荷時の圧電ならびに亀裂進展に対応する電気応答が得られた。この結果、微小応力センサーとして十分に利用できることがわかった。

In this study, the mechanical properties of the electronic system are analyzed, and the electrical potential difference is generated by the use of a small amount of force to generate a large electrical potential difference. The analysis of the most popular micro-particle abrupt motion is based on the analysis of the dynamic response of the particles, and the response of the characteristics of the dynamic response of the particles over the past year. The following "research results" will be reviewed. 1. In order to improve the quality of the raw material, the raw material and the film were successfully synthesized. two。 The temperature, the microstructure, the temperature, the results, the temperature, the temperature, the results, the temperature, the temperature 3. High-power stations are very responsible for the application of equipment equipment, such as the use of micro-scale equipment, the use of heavy duty equipment, the use of heavy duty vehicles, and the use of air-to-air air currents, such as electric current, and so on. 4. Generate electrical potential difference, mechanical force (also distorted), thermal temperature, sub-domain temperature, sub-domain temperature, temperature and temperature. According to the results of the test, the failure occurred during the removal of the load, and the response of the electrical and electrical equipment was satisfactory. The results show that the small effort is very important to make good use of the results.