シュリンクフィッターを用いた超小型ポリゴンミラーの接合に関する基礎的研究

热缩钳连接超小型多角镜的基础研究

• 批准号: 06750143
• 负责人: 新田 勇
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Niigata University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-06750143/
• 关键词: しまりばめ; シュリンクフィッター; ポリゴンミラー; 平面度; 超精密

本研究の目的は、申請者が考案したシュリンクフィッターを用いて、次期超小型ポリゴンミラーをセラミックス空気動圧軸受へ接合する技術を確立することである。次期超小型ポリゴンミラーは現行技術で接合することができないほどサイズが小さく、しかも温度変化の影響を敏感に受ける。本研究の接合方法を用いれば現行接合技術よりも簡便にしかも高精度・高信頼性を保証して接合することができる。さて,ポリゴンミラーはアルミ製であり,一方空気軸受けはSiC製である.したがって,シュリンクフィッター材にはかなり大きな熱膨脹係数が要求される.そこで,ポリイミドを用いた.強度だけから見た場合,シュリンクフィッターのスリット数は3以上であればよいことが分かっている.しかし,ポリゴンミラーの形状を考えて,そのスリット数は8とした.本接合法の特徴は従来法のものに比べてネジ止め部がないため,加工が大幅に簡略化されるということである.また,モータの発熱によりポリゴンミラーの温度が上昇し,熱膨張によりミラー内径が大きくなっても,シュリンクフィッターはそれ以上熱膨張するため弛みを生じないことである.実際に,組立を行なって確認したところ,使用中の面精度は保たれることが判明した.さらに、従来法に比べてジッタ特性やトラッキング特性も本接合法の方が優れていることが分かった.数値計算(三次元有限要素解析)により,最適設計のための検討を行った.シメシロの不均一は,ミラーの平面度には余り影響を与えないことが分かった.すなわち,ミラー平面の平面度は100nmと超精密級レベルであるが,接合面の加工精度はそこまで超精密さを要求されないということであり,本接合法のための加工条件はある程度ラフでよいことを示している.また,本接合法を用いても,従来と同様に接合後のミラー面の再加工は必要であった.接合前後で,ミラーの平面度が変化しないシメシロの条件が存在するか調べたが,単にシメシロを調整するだけでは不可能であることが判明した.今後の課題は,この問題を解決するための方法を考え,本接合法のさらなる簡便化を図ることである.

The purpose of this research is to establish the technology for the next stage of connection of ultra-small rigid connectors to local air dynamic pressure bearings by making them available to applicants for examination. The next generation of ultra-compact materials is sensitive to temperature changes due to the combination of existing technologies. The bonding method in this study is simple, high precision and high reliability. In addition, the air shaft is subjected to the SiC system. The coefficient of thermal expansion of materials is required.そこで,ポリイミドを用いた. When the intensity is different, the number of times the intensity is higher than 3, and the number of times the intensity is higher than 3. The shape of the film is examined, and the number of films is 8:00. The characteristics of the original connection law are different from those of the original method, and the processing is greatly simplified. The temperature of the heat exchanger rises, and the inner diameter of the heat exchanger increases. In the process of assembly, confirm the accuracy of the surface in use. In addition to the above, the method of communication is also applicable to the characteristics of the communication system. Calculation of numerical values (three-dimensional finite element analysis), optimal design. The difference between the uniformity of the film and the flatness of the film is that the film is not uniform, and the flatness of the film is not uniform. The flatness of the plane is 100 nm. The machining accuracy of the joint surface is required to be ultra-precise. The machining conditions of the original joint method are shown in the table below. After joining, it is necessary to reprocess the surface. Before and after the joint, the flatness of the joint is changed. The condition of the joint is changed. The adjustment of the joint is impossible. In the future, the problem of how to solve the problem will be discussed.

项目成果

I.Nitta: "New Joining Method of a Polygon Mirror Using a Shrink Fitter" Proc.of the 4th Int.Tribology Conference.Austrib '94. Vol.II. 685-690 (1994)

I.Nitta：“使用热缩钳的多边形镜的新连接方法”Proc.of the 4th Int.Tribology Conference.Austrib 94。