In-situ-Spannungsentwicklung und Eigenschaften gesputterter magnetischer Multilagen

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Im Mittelpunkt des Projektes stehen die Ermittlung des Spannungsaufbaus in den magnetischen Multilagen Cu/Permalloy und/ oder Cu/Co (Spannungsverläufe in den Teilschichten und der Grenzschicht) und Erkenntnisse zur Korrelation mit den Beschichtungsbedingungen und hinsichtlich der Auswirkungen auf die magnetischen und Magnetotransporteigenschaften (GMR-Effekt). Im einzelnen wird die in-situ-Spannungsmessung in einer UHV-Beschichtungsanlage mit Plasmaprozeß-Diagnostik aufgebaut und entsprechende Beschichtungen werden durchgeführt. Unter Nutzung der Prozeßparameter sollen Konzentrations-Tiefenprofile im Grenzschichtbereich simuliert und mit Ergebnissen mikrostruktureller Untersuchungen verglichen werden. Die Auswirkungen auf die elektrischen und magnetischen Eigenschaften werden durch Magnetowiderstands- und Magnetisierungsmessungen untersucht und mit theoretischen Modellbetrachtungen verglichen. Simulationsrechnungen und theoretische Modellbetrachtungen zum GMR-Effekt werden bei Kooperationspartnern außerhalb des IFW Dresden durchgeführt.