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In-situ-Spannungsentwicklung und Eigenschaften gesputterter magnetischer Multilagen

溅射磁性多层膜的原位应力发展和性能

基本信息

批准号：
5271562
负责人：
Professor Dr. Claus Michael Schneider
金额：
--
依托单位：
Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (IFW) e.V.
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2000
资助国家：
德国
起止时间：
1999-12-31 至 2005-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5271562?language=en
关键词：
situ Spannungsentwicklung und Eigenschaften gesputterter

项目摘要

Im Mittelpunkt des Projektes stehen die Ermittlung des Spannungsaufbaus in den magnetischen Multilagen Cu/Permalloy und/ oder Cu/Co (Spannungsverläufe in den Teilschichten und der Grenzschicht) und Erkenntnisse zur Korrelation mit den Beschichtungsbedingungen und hinsichtlich der Auswirkungen auf die magnetischen und Magnetotransporteigenschaften (GMR-Effekt). Im einzelnen wird die in-situ-Spannungsmessung in einer UHV-Beschichtungsanlage mit Plasmaprozeß-Diagnostik aufgebaut und entsprechende Beschichtungen werden durchgeführt. Unter Nutzung der Prozeßparameter sollen Konzentrations-Tiefenprofile im Grenzschichtbereich simuliert und mit Ergebnissen mikrostruktureller Untersuchungen verglichen werden. Die Auswirkungen auf die elektrischen und magnetischen Eigenschaften werden durch Magnetowiderstands- und Magnetisierungsmessungen untersucht und mit theoretischen Modellbetrachtungen verglichen. Simulationsrechnungen und theoretische Modellbetrachtungen zum GMR-Effekt werden bei Kooperationspartnern außerhalb des IFW Dresden durchgeführt.

Im Mittelpunkt des Projektes stehen die Ermittlung des Spannungsaufbaus in den Magnetischen Multilagen Cu/Permalloy und/ oder Cu/Co (Spannungsverläufe in den Teilschichten der Grenzschicht) und Erkenntnisse zur Korrelation mit den Beschichtungsbedingungen und hinsichtlich der Auswirkungen auf die Magnetischen und Magnetotransporteigenschaften (GMR-Effekt)。我在使用等离子技术的 UHV 诊断中进行了现场诊断和在整个过程中进行诊断。 Unter Nutzung der Prozeßparameter sollen Konzentrations-Tiefenprofile im Grenzschichtbereich simuliert and mit Ergebnissen mikrostruktureller Untersuchungen verglichen werden.在磁力站立和磁力传递过程中，电气和磁力特征是通过模型和理论模型来实现的。模拟研究和理论模型在德累斯顿 IFW 合作伙伴的 GMR 效应中得到体现。