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表面波スペクトロスコピーによる多層薄膜の力学物性と密着性の定量評価システムの開発

利用表面波谱法开发多层薄膜机械性能和附着力定量评价系统

基本信息

批准号：
08555170
负责人：
井原郁夫
金额：
$ 0.64万
依托单位：
Nagaoka University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
1996
资助国家：
日本
起止时间：
1996 至 1997
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は,表面波スペクトロスコピー手法を用いて多層コーティング薄膜の力学特性とその密着性を定量的に把握するための評価システムを開発することを目的としている.現時点での主な結果は以下のとおりである.1.表面波スペクトロスコピーの精度向上現有設備の超音波スペクトラム顕微鏡に,広帯域超音波パルサー/レシ-バを装着することにより,測定周波数帯域の拡張をはかった.これにより,約300MHzまでの超音波スペクトロスコピーが可能となった.現在,改良後の基本性能評価,測定精度評価を行なっているが,この改良により表面波による薄膜物性評価の精度向上が十分に期待される.2.表面波による薄膜物性評価に関する理論的検討多層薄膜材料の超音波反射率ならびにその材料表面を伝搬する弾性表面波の挙動について理論的に検討するとともに,それらを指標とした材料物性評価について検討した.まず,材料の弾性異方性を考慮し,異方性弾性定数を同定するための逆解析プログラムを開発した.次に,n層膜構造モデルを用いて,膜と基盤あるいは膜と膜との密着性(接合強度,界面性状)の定量的評価に関する基礎的検討を行った.具体的には,界面での応力と変位の境界条件の新しい定式化を試みた.次年度では,多層薄膜の特性を同定するための逆解析手法を確立するとともに,系統的なモデル実験を行うことにより,本手法の妥当性,実用性を検証する予定である.

This study aims to quantitatively understand the mechanical properties and adhesion of multilayer films by surface wave technology. 1. The accuracy of surface wave selection is up to the existing equipment. In the micro-mirror, the ultrasonic frequency range is up to the frequency range. The ultrasonic wave is about 300MHz. 2. Theoretical study on ultrasonic reflectivity of multilayer thin film materials and the surface of materials. 3. Theoretical study on ultrasonic reflectivity of multilayer thin film materials and the surface of materials. Material properties evaluation is an important aspect of material quality evaluation. In this paper, the properties and anisotropy of materials are taken into account, and the number of anisotropic properties is determined by inverse analysis. Second, n-layer film structure is applied to film substrate, film adhesion (bonding strength, interface properties) and quantitative evaluation of film adhesion. Specifically, we need to try out the power of the interface and the new formatting of the state conditions of the position. In the next year, the characteristics of multilayer thin films are determined by inverse analysis method, and the validity and practicability of the method are verified by systematic analysis method.